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掃描電鏡圖像噪聲類型及抑制

日期:2025-10-17

掃描電鏡圖像噪聲主要來源多樣,不同類型噪聲的產生機制不同,抑制方法也有所差異。常見噪聲類型及對應抑制方法如下:

電子信號統計噪聲

來源:電子束在樣品上產生二次電子或背散射電子時,電子數量有限且隨機波動,導致信號本身有隨機起伏。

抑制方法:增加電子束電流,提高探測信號強度;延長掃描時間或累加多幀圖像以平均噪聲;使用探測器增益優化。

電氣噪聲

來源:探測器、放大器和電纜線路中產生的電子噪聲,如熱噪聲或電源干擾。

抑制方法:確保電子系統接地良好,減少干擾源;使用屏蔽電纜;在可能的情況下降低放大器噪聲;保持設備溫度穩定。

充電噪聲

來源:非導電樣品或局部絕緣區域積累電荷,產生局部電場,擾動電子束,導致圖像亮度隨機波動或斑點。

抑制方法:對樣品進行金屬噴鍍或導電處理;降低電子束電流和加速電壓;使用低真空模式或環繞導電膜。

機械振動噪聲

來源:樣品臺、電子槍或實驗室環境的振動引起圖像模糊或高頻噪聲。

抑制方法:使用減振平臺;確保設備安裝穩固;減少附近振動源干擾。

環境電磁干擾

來源:實驗室電器、磁場波動或強射頻干擾影響電子束偏轉和探測信號。

抑制方法:遠離強電磁源;使用屏蔽室或屏蔽罩;保證電源穩定。

圖像處理或數字噪聲

來源:信號采集后的數模轉換或圖像處理過程中引入的誤差。


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作者:澤攸科技