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掃描電鏡信號強度不足的原因

日期:2025-10-17

掃描電鏡信號強度不足通常會導致圖像暗淡或信噪比低,這會影響觀察和分析。常見原因包括以下幾類:

加速電壓過低

電子束能量不足,不能有效激發樣品發射二次電子或背散射電子,導致探測信號弱。不同材料和厚度的樣品對電子束的響應不同,低電壓下尤其容易信號不足。

電子束電流太小

電子槍輸出電流過低會減少入射電子數量,從而降低產生的信號強度。提高電子束電流可以增強信號,但要注意防止樣品損傷或充電。

樣品導電性差

非導電或導電性不足的樣品容易產生電荷積累,形成局部電場干擾電子束,導致二次電子信號衰減,使圖像暗淡。

探測器設置不當

探測器增益或偏壓設置過低會直接影響信號強度。不同探測器類型(SE、BSE)對電壓和位置敏感,調整不當容易導致信號弱。

真空度不夠

樣品室真空度不足會導致電子束散射或吸收,使信號減弱。高真空環境可以減少電子束與氣體分子的碰撞,提高信號效率。

樣品污染或表面覆蓋物

表面氧化、碳污染或水分會吸收電子,降低有效信號,同時可能導致圖像模糊或對比度下降。

樣品厚度或幾何因素

樣品過厚或幾何結構不利于電子束入射,二次電子被吸收或散射,導致探測到的信號減少。

探測器位置或對準不正確

探測器離樣品太遠或者角度不合適,電子收集效率低,信號強度自然不足。


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作者:澤攸科技