透射電子顯微鏡樣品桿預(yù)抽存儲系統(tǒng)（T-staion）由內(nèi)置進(jìn)口分子泵組、樣品桿預(yù)抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿，保證樣品桿長期處于高真空狀態(tài)，減少進(jìn)樣預(yù)抽時(shí)間。可升級等離子清洗功能，實(shí)現(xiàn)對樣品桿或MEMS芯片的清洗。
 

性能指標(biāo)

• 兼容各廠家樣品桿 

• 分子泵組：ISO/CF63 84L/sec

• 極限真空：5 X10-5 Pa

• 插桿位：4個(gè)桿位，可獨(dú)立放氣。

• 觸摸屏：實(shí)施顯示預(yù)抽室真空度，一鍵開關(guān)。

• 可升級等離子清洗功能（需提前預(yù)留接口）

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