判斷掃描電鏡（SEM）的聚焦是否正確，可以從以下幾個(gè)方面進(jìn)行觀察與驗(yàn)證：

圖像清晰度：

聚焦正確時(shí)，圖像邊緣銳利、細(xì)節(jié)分明、顆?；虮砻婕y理清晰可辨；若圖像模糊、邊緣拖影或顆粒融合，說明焦點(diǎn)偏離。

放大倍率變化時(shí)的穩(wěn)定性：

在低倍下初步聚焦后，逐步放大倍率。如果聚焦正確，放大后圖像仍保持清晰；若放大后突然變模糊，則說明焦點(diǎn)未對(duì)準(zhǔn)樣品表面。

焦距調(diào)節(jié)（Focus 或 Z 軸調(diào)整）：

在調(diào)焦過程中，圖像應(yīng)經(jīng)歷由模糊—清晰—再模糊的變化過程。若變化不明顯或找不到清晰點(diǎn)，可能存在樣品傾斜或電子束穩(wěn)定性問題。

像移現(xiàn)象檢查：

聚焦時(shí)若圖像在屏幕上明顯漂移，通常說明樣品未處于電子束的焦平面上，需調(diào)整工作距離（WD）或樣品高度。

輔助功能檢查：

某些SEM配有“自動(dòng)聚焦”（Auto Focus）功能，可快速優(yōu)化焦點(diǎn)。自動(dòng)聚焦后仍模糊，需檢查樣品導(dǎo)電性、表面清潔度或是否存在漂移。

正確聚焦的關(guān)鍵是：在樣品導(dǎo)電性良好、束流穩(wěn)定、掃描速度適中的條件下，找到圖像最清晰的焦點(diǎn)位置。