在掃描電鏡（SEM）中，能譜圖（EDS 或 EDX 圖）顯示的是樣品中不同元素對入射電子束響應(yīng)所產(chǎn)生的特征 X 射線的強(qiáng)度與能量的關(guān)系。通過分析這些特征 X 射線的能量位置（峰的位置），就可以判斷樣品中含有哪些元素。

以下是具體的判斷方法：

第一步：觀察能譜圖橫軸和縱軸

橫軸是能量（keV），表示 X 射線的能量；

縱軸是強(qiáng)度（counts），表示每個(gè)能量下探測到的 X 射線數(shù)量。

第二步：識(shí)別特征峰位置

每種元素在特定能量處有其特征 X 射線峰，稱為“K、L、M 系列峰”。

例如：

碳（C）Kα 峰：約 0.28 keV

氧（O）Kα 峰：約 0.52 keV

鐵（Fe）Kα 峰：約 6.40 keV，Kβ：約 7.06 keV

銅（Cu）Kα 峰：約 8.04 keV

金（Au）Mα 峰：約 2.12 keV

能譜圖中出現(xiàn)的每一個(gè)清晰峰位，通常就對應(yīng)一個(gè)特定元素的存在。

第三步：使用軟件自動(dòng)匹配元素

SEM 的能譜分析軟件通常帶有自動(dòng)元素識(shí)別功能：

系統(tǒng)會(huì)根據(jù)峰位位置自動(dòng)列出可能對應(yīng)的元素；

用戶可以手動(dòng)確認(rèn)或修改識(shí)別結(jié)果；

軟件還可提供每種元素的相對含量（半定量分析）。

第四步：注意干擾峰和偽峰

有時(shí)兩個(gè)元素的峰位很近，可能會(huì)重疊或干擾，比如：

硅（Si）Kα：1.74 keV 與金（Au）Mα：2.12 keV 較近；

錳（Mn）Kα 和鐵（Fe）Kβ 也容易混淆。

此時(shí)應(yīng)結(jié)合樣品背景、材料信息或使用標(biāo)準(zhǔn)樣本進(jìn)行校對。