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掃描電鏡的探針電流和探針尺寸如何影響樣品表面成像

日期:2023-12-18

掃描電鏡是一種利用電子束來對樣品表面進行高分辨率成像的儀器。探針電流和探針尺寸是影響SEM成像效果的重要參數。

探針電流:

影響: 探針電流直接影響掃描電鏡中電子束的強度。較大的電流可以提供更多的電子,使得成像信號更強,但也可能導致樣品表面的充電效應增加。

優勢: 大電流下,成像信號強,適用于快速成像和獲取高分辨率圖像。

注意: 過大的電流可能損傷樣品,特別是對于生物樣品等較為敏感的樣品。

探針尺寸:

影響: 探針尺寸是指電子束的直徑,即聚焦后的尺寸。較小的探針尺寸可以提供更高的分辨率,但也可能導致成像信號減弱。

優勢: 小探針適用于對細小結構的高分辨率觀察。

注意: 過小的探針可能導致較長的成像時間,而且在非理想條件下可能導致成像不穩定。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技