掃描電鏡的工作距離對圖像的影響
日期：2023-08-14
掃描電子顯微鏡（SEM）的工作距離是指樣本表面到電子透鏡（或稱為物鏡）的距離。工作距離的大小會直接影響SEM圖像的成像效果和分辨率。以下是工作距離對圖像的影響：
分辨率： 工作距離影響SEM圖像的分辨率。較小的工作距離通常可以獲得更高的分辨率，即更能夠分辨出樣本表面的微小細節(jié)。這是因為在較小的工作距離下，電子束散射和散焦效應較小，使得圖像中的細節(jié)更加清晰。
深度焦點： 工作距離的變化還會影響圖像的深度焦點。較大的工作距離可以獲得較大的深度焦點范圍，使得樣本表面不同位置的區(qū)域都能保持清晰。這對于觀察具有不同高度的表面特征或凹凸結構的樣本非常有用。
對比度： 工作距離也會影響圖像的對比度。較小的工作距離可以提供更高的對比度，因為電子束聚焦更強，散射較少，從而產生更清晰、對比度更高的圖像。
鏡頭畸變： 在一些情況下，較大的工作距離可能會引起透鏡畸變，影響圖像的準確性。這取決于SEM的設計和儀器的校準情況。
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作者：澤攸科技