掃描電子顯微鏡（SEM）的能譜分析功能是通過能譜儀（EDS）或能量色散X射線光譜儀（EDX）實現的。以下是能譜分析的基本原理和步驟：

激發：掃描電鏡的電子束與樣品表面相互作用時，會激發樣品中的原子產生特征性X射線。這些X射線的能量和強度與樣品的化學成分相關。

探測：能譜儀（EDS或EDX）中包含一個探測器，用于探測樣品表面發出的X射線。常見的探測器是硅鍺（SiGe）半導體探測器。

能譜獲取：探測器將探測到的X射線信號轉化為電信號，并傳送到能譜儀系統進行處理。能譜儀會將信號處理為能量分布譜，即能譜。能譜顯示了不同能量的X射線強度的分布情況。

分析：能譜可以通過特定的分析軟件進行解讀和分析。該軟件可以識別不同元素的特征峰，并根據峰的位置、強度和形狀來確定樣品中的化學元素及其相對含量。這種分析通常使用標準參考庫和校準樣品進行比對和定量。

需要注意的是，能譜分析的準確性和可靠性受到多種因素的影響，包括樣品的形貌、組成、厚度、電荷效應、探測器性能和儀器設置等。因此，在進行能譜分析時，需要根據具體的應用和要求，進行仔細的樣品準備、實驗設置和數據解釋。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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