掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用，產生反射、透射、散射等信號，通過信號的捕捉與分析，獲取樣品表面形貌、成分和結構等信息的儀器。它的結構組成包括以下幾個主要部分：

電子槍：產生高能電子束的部分，通常由熱陰極或場發射陰極構成，可以控制電子束的亮度和聚焦效果。

操作系統：包括控制臺、屏幕、鍵盤、鼠標等，用于對SEM的各項參數進行設定、控制和調整。

樣品臺：用于固定待觀察的樣品，并提供旋轉、傾斜等操作，以便不同角度下的觀察。

掃描線圈：通過控制掃描線圈的電流，產生磁場，控制電子束的掃描路徑，從而實現對樣品表面的掃描。

探測器：用于捕捉樣品表面反射、透射、散射等信號，并將信號轉化為電信號傳輸給圖像處理系統。

圖像處理系統：將信號轉化為數字信號，進行放大、增強、濾波等處理，產生高質量的SEM圖像。

顯示器和存儲器：用于顯示處理后的圖像和存儲SEM圖像數據。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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