能譜儀(EDS ，Energy Dispersive Spectrometer) 是用來對材料微區(qū)成分進行分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡以及掃描透射電子顯微鏡使用的一種儀器 。

能譜儀分析對樣品的要求:

為了保證準確的定量結果 ，樣品應滿足如下條件 :

1、在真空和電子束轟擊下穩(wěn)定，樣品組分不會蒸發(fā)或分解。

2、分析面平坦，與電子束垂直。

3、樣品上被檢 區(qū)域尺寸應大于X射線擴散范圍，減少基體的 影響。

4、有良好的導電和導熱性能，沒有荷電現(xiàn)象，分析部位穩(wěn)定。

5、樣品為均質材料。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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